英特尔已开始使用ASML新一代高数值孔径极紫外光刻机,用于生产部分Panther Lake笔记本电脑芯片。该设备单价约4亿美元,是标准EUV机的两倍,目前仅用于芯片特定层以收集数据并优化工艺。 查看原文 ( )
来源:路透社